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热处理对掺ch- 2c4-的sicoh薄膜结构及性能的影响

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热处理对掺ch-,4-的sicoh薄膜结构及性能的影响
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水处理  —  膜技术
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热处理对掺ch- 2c4-的sicoh薄膜结构及性能的影响
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薄膜 热处理 sicoh sicod 性能 低介电常数
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