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硅片腐蚀工作步骤及工作事项

本文档由 有完没完! 分享于2011-09-15 15:34

利用氢氧化钠对多晶硅腐蚀作用，去除硅片在多线切割锯切片时产生的表面损伤层，同时利用氢氧化钠对硅腐蚀的各向异性，争取表面较低反射率较低的表面织构。
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行业资料  —  能源与动力工程
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硅片
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硅片 腐蚀 硅腐蚀 工作步骤 多晶硅 纯水
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