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<薄膜生产工艺技术>外延薄膜中的缺陷

本文档由 精品库 分享于2012-05-10 15:22

点缺陷:空位,间隙原子,替代杂质原子,间隙杂质原子线缺陷:刃型位错,螺型位错,层错面缺陷: 孪晶界,小角晶界,共格晶界……金属,半导体:不同的结构不同的特性表面点缺陷,表面线缺陷
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缺陷 薄膜 外延 间隙 空位 四面体
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