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【新能源开发技术】多晶硅锭生产技术原理

本文档由 精品库 分享于2012-10-22 10:56

一、 引言 二、 多晶炉内热场与硅锭的组织结构 三、 定向凝固时硅中杂质的分凝 四、 定向凝固硅晶体生长工艺方法 五、 热交换法多晶炉型 六、 热交换法工艺讨论 七、 结晶炉结构类型的选择 八、 多晶硅片的高效率、高质量生产方向
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研究报告  —  新能源
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多晶硅 硅锭 定向凝固 界面处 结晶 边界层
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